真空泵是一種用于從設備或生產系統泵送空氣以使設備或生產系統在真空中工作的機器.

真空泵的主要工作性能參數為:抽速,極限真空度,軸功率和轉速.

真空泵的泵送速率是指每單位時間（m 3 / h）可抽出的氣體量。

極限真空是泵可以達到的最高真空度。

通常用于化學生產的真空泵包括往復式真空泵，水環真空泵和噴射泵。

往復式真空泵的結構與活塞式壓縮機的結構基本相同。

真空泵的特點是高壓比。

例如，為了達到95％真空，標稱吸氣的絕對壓力為0.005MPa，而排氣壓力為0.1MPa，壓力比為20。

由于高壓比，膨脹后剩余間隙容積所占的體積非常大，這大大降低了吸入容量，并且氣缸的有效利用率非常低。

為了解決上述問題，通常在氣缸兩端的氣缸壁上開有幾個凹槽，這些凹槽比活塞厚。當活塞運行到停止點時，凹槽用于平衡活塞兩側的氣缸壓力。

例如，當活塞運行到左停止點時，左汽缸的排氣結束，間隙容積中的殘余壓力更高，右汽缸中的抽吸結束，并且壓力更低。由于凹槽的連接，左汽缸的間隙容積中的氣體壓力相應地減小。

以這種方式，在活塞返回操作期間，由殘余氣體膨脹所占的體積大大減小并且抽吸能力增加。

活塞運行到右側止擋。

往復式真空泵適用于泵送非固體顆粒，非腐蝕性氣體。

這種真空泵因其高泵速和高真空度而廣泛應用于化工領域。

中國制造的臥式往復式真空泵如圖所示。

W-1至W-5有五種規格。

當泵送速率為65-770 m 3 / h時，羅茨真空泵為750 mm Hg柱。