羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種可變容量的旋轉式真空泵。由羅茨鼓風機發展而來。羅茨真空泵根據工作范圍的不同分為直接排氣的低真空羅茨泵、中真空羅茨泵(也稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。

   羅茨真空泵最大的優點。

    它在較低的入口壓力下有較高的抽氣速度，但不能單獨使用，真空泵必須串聯。羅茨真空泵只有在泵送系統中的壓力由備用真空泵泵送至允許的入口壓力時才能開始工作。一般情況下，羅茨真空泵不允許在高壓差下工作，否則會造成過載、過熱和損壞。因此，在使用羅茨真空泵時，需要合理選擇前置真空泵，并安裝必要的防護設備。

   羅茨泵的工作原理。

    羅茨真空泵的泵室內，兩個相互垂直的8字形轉子安裝在一對平行的軸上，一對傳動比為1的齒輪帶反向同步轉動。轉子與泵殼內壁之間有間隙，可實現高速運轉。因為羅茨泵是串聯使用的。

    羅茨泵的工作原理類似于羅茨鼓風機。由于轉子的連續旋轉，泵送氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間，然后通過空氣出口排出。由于吸入后的VO空間完全關閉，泵腔內的氣體不會被壓縮和膨脹。

但當轉子頂部越過排氣口邊緣，VO空間與排氣側連通時，由于排氣側氣壓高，一部分氣體會沖回VO空間，使氣壓突然增大。當轉子繼續旋轉時，氣體從泵中排出。

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